空天微纳系统教育部重点实验室成立于2011年，是国内较早开展微机电系统研究的单位之一。实验室面向航空、航天、航海，致力于实现装备的微型化、集成化、信息化。实验室拥有国内一流的MEMS研究技术团队和平台，具备一条完整的4英寸MEMS研发制造平台和一条初步的8英寸微纳中试加工平台，净化间总面积约1800平米，现有重大仪器设备资产近1.2亿元。

实验室在微机电系统方面进行了大量的基础研究和应用基础研究，取得了多项国际领先的科技成果，并将成果用于多项国家重大专项和重点工程，其中自主研制的10余款特种MEMS器件已成功应用于高超声速飞行器、C919大飞机、核聚变点火等多项航空航天重大工程并批量装备DF系列导弹和最新型战机。

获国家技术发明二等奖3项，国家教学成果一等奖1项，省部级一等奖5项，二等奖19项。获得国家重大科学仪器设备开发专项、基础加强重点项目、民机专项、国防基础科研重点项目、国家自然科学基金重点项目、国家863项目、国防973课题以及国家自然科学基金面上项目等重点项目190余项，项目经费累积近3亿元。出版学术专著及教材11部，其中《微机电系统(MEMS)制造技术》获国家科学技术学术著作出版基金资助。实验室共申请国家发明专利280余项，授权170余项，在国内外重要学术刊物上发表论文800余篇。