首页  学院概况  师资队伍  本科生教学  研究生培养  科学研究  学科与实验室  国际合作  党群工作  学生工作 
 
机构设置
 学院办公室 
 航空宇航制造工程系 
 机械工程及自动化系 
 微系统工程系 
 工业工程系 
 工业设计系 
 机械基础实验教学中心 
 电工实验教学中心 
 机电实验教学中心 
 现代设计与集成制造技术教育部重点实验室 
 空天微纳系统教育部重点实验室 
 陕西省机电传动与控制工程实验室 
 陕西省工业设计工程实验室 
 
 
当前位置: 首页>>学院概况>>机构设置>>空天微纳系统教育部重点实验室
空天微纳系统教育部重点实验室

西北工业大学“微/纳米系统实验室”成立于1992年,是国内较早开展微机电系统(MEMS)研究的单位之一。实验室以微机电系统技术为核心,以纳机电系统(NEMS)技术为深入方向,以面向航空、航天、航海及国家重大需求的微纳系统及相关技术研究为重点和特色。目前,实验室是面向全国开放的微机电系统研究和人才培养的重要基地,具备国内一流、国际先进研究条件,在微机电系统设计、制造、自主研发方面有雄厚实力。拥有一整套四英寸硅基微加工线,形成了支持硅表面加工、湿法体硅加工、高深宽比干法刻蚀、聚合物基等工艺的微制造平台,拥有自主知识产权的MEMS集成设计平台,拥有光刻机、ICP深刻机、LPCVD、溅射仪、RIE、晶片减薄抛光系统、圆片键合机、扩散炉、划片机、三维表面轮廓仪、探针台、激光多普勒测振仪、动态信号分析仪等贵重微加工及精密检测设备等。

实验室主要研究方向包括航空航天微机电系统技术、微纳器件设计制造技术、微纳功能结构技术等。主持承担了一系列国家重要科研项目,在面向三航的典型应用微系统、MEMS集成设计等方向上达到国内领先、国际先进水平。在国际重要学术期刊及重要学术会议上发表论文近200篇,其中包括IEEE ASME Journal of MEMS、Journal of Micromechanics and Microengineering期刊论文以及IEEE MEMS年会论文等。出版专著、教材5部。获国家技术发明二等奖2项,省部级科技成果奖十余项。实验室积极开展学术交流与合作,除了与我国航空、航天、船舶、兵器、电子等国内诸多骨干单位建有密切协作关系外,还与美国加州理工大学、加州大学伯克利分校、德国弗莱堡大学、法国斯特拉斯堡大学、英国南安普敦大学等建有良好学术合作关系。

实验室负责人简介:

苑伟政生于1961年,西北工业大学教授,博士生导师,机电学院院长,教育部“长江学者”特聘教授。并兼任中国微/纳米技术学会常务理事、中国仪器仪表学会微/纳器件与系统技术分会副理事长、中国机械工程学会理事及微/纳制造技术分会委员、生产工程分会委员等,《机械工程学报》、《传感技术学报》、《纳米科技》等学术期刊编委。

主要从事微机电系统以及微纳制造方面的研究,留法回国后主持创建了“微机电系统与纳米技术”国防重点学科和“陕西省微/纳米系统重点实验室”,“空天微/纳系统教育部重点实验室”。现为“机械电子工程”国家重点学科带头人,机械工程一级学科负责人。

在国内率先开展了MEMS集成设计、MEMS灵巧蒙皮、微机械准分子激光微细加工技术等前沿研究,并在微能源、微惯性器件以及微光学系统等方面形成了研究特色。主持国家自然科学基金项目、863计划重点项目以及国防基础研究计划重点项目等30余项。

获国家技术发明二等奖2项、省部级科技一等奖3项,获授权发明专利32项。出版专著2部,教材3部,其中《微机械与微细加工技术》被评为教育部研究生推荐教材。在国内外学术刊物上发表论文150余篇,被SCI索引40篇,EI索引102篇,是Sensor and Actuator A、IEEE Sensor等国际著名学术刊物的审稿人,担任IEEE NEMS,ASME Nano and Micro System,APCOT等著名国际会议的技术程序委员会委员,以及国际会议ICMAN的大会主席、IMCC等分会主席。已培养毕业博士中2人入选教育部新世纪优秀人才培养计划,1人获世界著名的“洪堡学者”基金。

联系人:乔大勇,邓进军 联系电话:029-88460547,88460353-8072

传真:029-88460547 电子邮件:dyqiao@nwpu.edu.cn , dengjj@nwpu.edu.cn

办公地点:航空楼D座3楼

版权所有 © 西北工业大学机电学院   技术支持:网络与教育技术中心 联系我们:npujdxy@nwpu.edu.cn