空天微纳系统教育部重点实验室（以下简称“实验室”）依托于西北工业大学，在航空航天特种MEMS制造、微纳敏感机理与惯性器件、MEMS集成设计软件、微纳光学、先进流动测控、柔性微纳防除冰结构、微流控芯片与医疗装备等研究方面处于国内领先、国际先进水平，已成为我国重要的微纳系统科研及创新人才培养基地。实验室硬件条件达到国内一流、国际先进水平，在友谊校区拥有一条四/六英寸微加工工艺线，能够实现硅表面加工、湿法体硅加工、ICP深刻蚀等多种典型工艺；在宁波建立了一条8英寸MEMS中试线，是国内少有的面向全国开放的微纳制造和研发平台之一。实验室现有专任教师27人，其中国家级领军人才7人，国家级青年人才6人，形成了一支以国家级领军人才为学术带头人、以中青年教师为骨干的高水平研究队伍。实验室累计获得国家技术发明二等奖3项、国家教学成果一等奖1项、省部级一等奖8项。近五年来，承担国家重大科学仪器设备开发专项、民机专项、国家自然科学基金重点项目等项目，累计经费超过2亿元。

根据实验室发展规划及教育部重点实验室管理要求，为贯彻“开放、共享、融合、创新”的理念，积极开展学术交流与产学研合作研究、共享仪器设备/设施平台，促进MEMS领域科技进步与创新，诚邀国内外从事MEMS传感器与执行器相关的研究人员申报2023-2024年度开放课题。

一、资助对象

申请本实验室开放课题者，需为国内外具有中级及以上职称或具有博士以上学位，并在高等院校和科研机构工作的专业技术人员。

二、资助领域

本年度实验室优先资助但不仅限于下列研究领域的课题申请：

1) 惯性微纳设计理论及器件研究

2) 热驱动式MEMS光学开关研究

3) 细胞聚焦的微流控芯片研究

三、资助金额与研究期限

1、资助金额：3-5万/项

2、研究期限：1-2年。

四、申请程序

1、本次开放课题基金申请截止时间为2023年11月20日。开放课题申请书电子版请于截止日期前发送至mems_npu@163.com，纸质版申请书请于2023年11月30日前寄到本实验室。

2、申请者须填写“空天微纳系统教育部重点实验室开放课题基金申请书”，开放课题基金申请书一式4份，经所在单位签署意见并加盖公章（封面处）后寄送本实验室，并将电子版本的申请书发送至实验室电子信箱：mems_npu@163.com。

3、申请书经本实验室初审后提交实验室学术委员会进行评审，确定资助项目和资助金额。评审结果由实验室主任签发，并通知申请者及其所在单位，未获批准的申请材料概不退还。

4、申请者收到批准资助通知后，应按批准金额、研究年限和评审意见，在收到立项通知后1周内编写开放课题合同书，经申请人所在单位签字盖章后提交至本实验室，核准后正式列为本实验室科研课题，拨付课题经费。

5、立项成功后需根据我室开放课题申请与管理办法执行，按时填写结题报告。

五、联系方式

联系人：郝老师

电子邮箱：mems_npu@163.com

通信地址：陕西省西安市碑林区友谊西路127号西北工业大学航空楼D座212，邮编710072

发布时间：2023年11月2日