实验室简介

依托空天微纳系统教育部重点实验室暨陕西省微/纳米系统重点实验室建设和发展的“微机电系统与纳米技术”学科是机械工程一级学科博士点联合仪器科学与技术、光学工程、生物医学工程等多个一、二级学科博士、硕士点建立起来的一个新兴、交叉、边缘学科，被列为国防科工委重点学科，是国内唯一的重点学科，西工大“十五”学科规划重点建设学科，国家“985工程”重点建设项目，投资6000万元立项建设；现为机械工程一级学科博士学位授予权下属自设二级学科。实验室发展历史简介如下：

• 1993年开始创建微/纳米系统实验室；

• 1995年开始招收培养博士、硕士研究生；

• 1996年列为“九五” “211”一期重点建设学科方向；

• 2001年列为“十五”重点建设新兴、交叉、边缘学科；

• 2002年列为国家“985工程”一期重点建设项目；

• 2002年列为国防科工委重点学科；

• 2002年设立“微机电系统与纳米技术”博士点；

• 2005年“985工程”二期创新平台建设项目；

• 2005年陕西省重点实验室立项建设；

• 2007年获准“机械电子工程”国家重点学科；

• 2007年“211工程”三期重点建设学科方向；

• 2010年列为国家“985工程”三期建设项目；

• 2011年“空天微纳系统”入选教育部长江学者创新团队；

• 2011年“空天微纳系统教育部重点实验室”立项建设；

• 2016年教育部重点实验室建设完成并验收通过；

• 2017年陕西省重点实验室评估中位列优秀，这是继2008、2011、2014年后实验室连续第四次获评优秀;

• 2018年“极端环境智能微系统国家重点实验室”入选陕西省国家重点实验室培育计划；

• 2020年“微机电系统工程”国家级一流本科专业于正式获批立项建设。