实验室简介

西北工业大学微纳系统实验室成立于1993年，是国内较早开展微机电系统研究的单位之一。2005年，陕西省微/纳米系统重点实验室立项建设。2011年经《教育部关于2011年度教育部重点实验室立项建设的通知》（教技函【2011】93号）文件批复，批准建设空天微纳系统教育部重点实验室。实验室现已建成具备国内一流、国际先进的实验条件，在航空航天特种MEMS制造、微纳敏感机理与惯性器件、MEMS集成设计软件、微纳光学、先进流动测控、柔性微纳防除冰结构等研究方面处于国内领先、国际先进水平，已成为我国重要的微纳系统科研及创新人才培养基地。实验室拥有“微机电系统工程”国家一流本科专业，“微机电系统及纳米技术” 博士点以及首批“集成电路科学与技术”一级学科博士点，是西北工业大学“机械工程”一流学科的重要组成部分，也是机械电子工程国家重点学科、微机电系统及纳米技术国防重点学科的建设依托单位。实验室入选国家“985工程”重点建设项目，以及教育部“985工程”建设十年典型案例。

实验室硬件条件达到国内一流、国际先进水平，为开展航空航天微纳系统的研究奠定了坚实基础。实验室已经完成“985工程”一期、二期、三期和“211工程”建设，实验室现有设备76台（套），设备总资产9000余万元，实验室西安友谊校区基地面积3200平米（其中净化室面积900平米，在建150平米），形成了一条四/六英寸微加工工艺线，能够实现硅表面加工、湿法体硅加工、ICP深刻蚀、聚合物基微加工等多种典型工艺。同时，实验室在宁波建立了一条8英寸MEMS中试线，是国内少有的面向全国开放的微纳制造和研发平台之一。已经为国内几十家单位提供了微纳加工及相关器件研发支持。

实验室拥有一支知识和年龄结构合理的高水平创新团队，团队成员来自机械工程、航空航天工程、电子科学与技术、仪器科学与技术、集成电路科学与技术等学科，实验室现有专任教师27人，其中，何梁何利科学与技术进步奖获得者1人、“长江学者”特聘教授2人、国家万人计划科技创新领军人才2名、“卓青”1人、“千人计划”引进教授1人，基金委优青1人、中组部青年拔尖人才1人、国家高层次人才引进计划青年项目3人、德国洪堡学者1名、欧盟玛丽居里学者1名、“教育部新世纪优秀人才”4人。形成了年龄和知识结构分布合理，以国家级领军人才为学术带头人、以中青年教师为骨干的高水平研究队伍。

实验室累计获得国家技术发明二等奖3项、国家教学成果一等奖1项、省部级一等奖8项。近五年来，实验室承担国家重大科学仪器设备开发专项，民机专项，国家自然科学基金重点项目以及军科委国防创新特区项目、装备预先研究项目等项目，累计经费超过2亿元。共申请国家发明专利300项，授权180项；出版学术专著及教材6部，其中《微机电系统(MEMS)制造技术》获国家科学技术学术著作出版基金资助。在国内外重要学术刊物上发表多篇论文，SCI、EI收录500余篇。

实验室高度重视国际学术交流与合作。外专千人计划专家Pavel Neuzil教授已在实验室全职工作多年。实验室与美、德、英、法、新等国家的10余所大学和研究所建立了广泛的合作关系。承办2013年中国工程院高端微机电系统咨询会、IEEE NEMS 2015国际学术会议、2019年世界微机械峰会。积极参加IEEE MEMS、Transducers、 SPIE、IEEE NEMS以及IEEE Nanomed等国际学术会议。连续八次获得IEEE MEMS、Transducer、IEEE Sensors等国际顶级学术会议论文奖励。

结合航空航天重大需求，实验室与中国商飞上海飞机设计研究院、华为公司、中国空气动力研究与发展中心、中国航天空气动力技术研究院、中国空空导弹研究院、中国工程物理研究院、中航电测仪器股份有限公司、中国航空成都飞机设计研究所、中国航空西安飞行自动控制研究所、中国航空成都航空仪表有限公司等一大批航空航天国家骨干单位建立了紧密的产学研合作关系。