西北工业大学微纳系统实验室成立于1993年，是国内较早开展微机电系统研究的单位之一。2005年，陕西省微/纳米系统重点实验室立项建设。2011年经《教育部关于2011年度教育部重点实验室立项建设的通知》（教技函【2011】93号）文件批复，批准建设空天微纳系统教育部重点实验室。实验室现已建成具备国内一流、国际先进的实验条件，在航空航天特种MEMS制造、微纳敏感机理与惯性器件、MEMS集成设计软件、微纳光学、先进流动测控、柔性微纳防除冰结构等研究方面处于国内领先、国际先进水平，已成为我国重要的微纳系统科研及创新人才培养基地。实验室拥有“微机电系统工程”国家一流本科专业，“微机电系统及纳米技术” 博士点以及首批“集成电路科学与技术”一级学科博士点，是西北工业大学“机械工程”一流学科的重要组成部分，也是机械电子工程国家重点学科、微机电系统及纳米技术国防重点学科的建设依托单位。实验室入选国家“985工程”重点建设项目，以及教育部“985工程”建设十年典型案例。

实验室硬件条件达到国内一流、国际先进水平，为开展航空航天微纳系统的研究奠定了坚实基础。实验室已经完成“985工程”一期、二期、三期和“211工程”建设，实验室现有设备76台（套），设...